分享到
SEMNova-1000高通量（場發射）掃描電子顯微鏡
還在考慮? 請隨時咨詢我們， 聯系我們 !
瀏覽同類產品
標簽列表
- 產品描述
- 特性優勢
- 基本參數
-
SEMNova-1000高通量(場發射)掃描電子顯微鏡
SEMNova-1000高通量(場發射)掃描電子顯微鏡，專為跨尺度大規模樣品SEM表征分析而設計，廣泛應用于科研及工業等領域。其自動化超高速的納米成像技術，為您提供超凡的成像體驗。
產品介紹
伯銳鍶獨立研發并擁有自主知識產權的SEMNova-1000高通量（場發射）掃描電子顯微鏡，通過對成像技術、運動平臺、電路控制及智能算法的系統化創新設計，實現了高通量成像，成像速度可達到傳統電鏡的數十倍以上。其全部采用直接電子探測器的技術方案，成功克服了傳統SEM技術在速度、精度和樣品損傷等方面的局限性，顛覆性地將掃描電鏡從傳統意義上的納米“照相機”提升為納米“攝像機”。同時操作簡單，全自動一鍵換樣，7*24小時無人值守運行，全面提升科研效率。
我們將成熟的工業化高通量電鏡檢測技術應用在生命科學、材料研究、半導體工業、地質資源等領域。尤其在神經生物學3D重構、材料大面積表征分析、半導體反向工程、納米技術分析等應用領域有顯著優勢。
-
產品優勢
● 綜合成像速度＞10倍傳統電鏡
● 二次電子與背散射電子雙通道同步成像
● 海量SEM圖像快速生成數據分析報告
● 從百毫米到納米級的跨尺度材料表征
產品特點
1、極速成像
● 通過自主研發的硬件和軟件設計，實現二次電子與背散射電子雙通道同步成像：視頻級高分辨成像；
● 高清視頻級攝像幀率，使其具有實時觀測樣品動態變化的能力；
2、高成像質量
● 獨特的浸沒式電磁復合物鏡系統，有效地減小低落點能量下物鏡的象差，達到極高分辨能力；
● 與物鏡場復合的靜電式掃描偏轉系統，相比于傳統電鏡的磁偏轉系統，極大地減小圖像邊沿畸變，可獲得兼具高分辨率和大視野的完美圖像；
● In-Lens SE與BSE半導體直接電子探測器，雙通道同時高速成像，兼具高靈敏度和高信號電子收集效率，即使在nA級別的大束流條件仍可獲得高圖像襯度和信噪比；
● 配備主動補償系統（激光干涉振動補償、電磁干擾主動補償），消除環境因素干擾，保證成像高分辨率高質量；
3、跨尺度大規模成像
● 超高速掃描成像能力，結合全自動聚焦跟蹤系統和A.I.圖像處理算法，實現對超大區域樣品進行高分辨率全自動不間斷矩陣式掃描，并自動拼接獲得大尺寸納米級分辨率的全景地圖式成像，使之具備了跨尺度信息融合能力，可實現從納米級到毫米級的跨尺度材料表征；
4、智能分析
● 大數據智能分析 ，海量SEM圖像快速生成數據分析報告；
● 智能圖像處理，定制化圖像測量、統計、分析；
5、操作簡單
● 全自動樣品載入與導航，一鍵完成樣品更換，操作便捷，節省工時。大場光學成像導航與SEM成像無縫銜接，對指定區域快速準確實現定位和觀測；
● 7*24小時全自動化無人值守運行能力；
-
電子光學鏡 電子槍 肖特基型熱場發射電子源
束流穩定度<1%/天
物鏡系統 SORRIL™ 電磁復合透鏡
樣品臺減速模式
分辨率 1.5 nm @ 1kv 1.3nm @ 3 kv
浸沒式電磁透鏡(*①)
加速電壓 0.1-12 kV
連續可調(*②)
放大倍數 500X~600,000X(SEM 圖像)1X-600X(光學導航)
束斑電流 50pA~30nA
(*③)
標準工作距離 1.5mm
最大視場 100um(標準工作距離)1mm(最大工作距離
電子束消隱器 靜電式消隱器
探測器系統 電子探測器
（標準）
In-column SE 探測器In-lens BSE 探測器 工作距離高度探測
Focus Tracking™ 自動聚焦跟蹤系統 光學導航精度
15um 圖像處理器 成像最小駐留時間
10ns/像素 最快成像通量
SE與BSE各 100M 像素/s 采集方式
雙通道同步采集 SE+BSE 最大圖像分辨率
24kx24k 像素 圖像平均
支持點平均、線平均、面平均 樣品運動平臺 行程 X=150mm，Y=150mm，Z=20mm
最大樣品載重 5kg
重復定位精度(*) X=±3um，Y=±3um，Z=±50nm
(*④)
驅動方式
X/Y 壓電陶瓷驅動Z 步進電機+壓電陶瓷驅動 標準樣品托盤 4~6 英寸樣品載盤預抽室自動送樣
可選裝載 SEM 標準樣品托的載盤
圖像增強
功能軟件
基礎控制軟件
Nanoscope:自主研發用戶友好的操作軟件，用于電鏡圖像采集和測量具備一鍵圖像聚焦和優化調整，可實時監控圖像質量。 自動采集拼接軟件
ArrayScan:基于 Nanoscope 實現大面積全自動圖像陳列采集，進行圖片地圖集自動預拼接等相關工作 分析處理軟件
ImageViewer:自主研發基于 Windows 操作系統，單張超高清圖像(24kX24k)快速瀏覽與測量，大體量超高清圖像(1000X1000張)地圖集式自動拼接/瀏覽，信噪比優化 用戶開發接口
支持 C#和 Qt版本:開放供用戶調取使用接口功能。 注:
①:選配非浸沒式電磁透鏡，可觀測鐵磁性材料;*2):選配0~30kV電子槍;
③:選配100nA;
④:可選配激光干涉儀。
SEMNova-1000高通量（場發射）掃描電子顯微鏡
還在考慮? 請隨時咨詢我們，聯系我們 !
瀏覽同類產品
標簽列表
在線咨詢
注意: 請留下您的電子郵件地址，我們的專業人員將盡快與您聯系！
伯銳鍶
伯銳鍶
微信公眾號